STMicroelectronics Sensor de presión de MEMS LPS25H

El sensor de presión LPS25H MEMS de STMicroelectronics es un sensor de presión absoluta piezorresistivo muy compacto. Incluye un elemento de detección monolítico y una interfaz CI con capacidad para recibir información del elemento de detección y proporcionar una señal digital a sistemas externos. El elemento de detección se compone de una membrana suspendida realizada dentro de un sustrato de silicio monolítico individual. Puede detectar la presión absoluta y se fabrica con un proceso dedicado desarrollado por ST. La membrana es muy pequeña en comparación con las membranas micromecanizadas de silicio integradas tradicionalmente. La rotura de la membrana se evita mediante un tope mecánico intrínseco. La interfaz CI se fabrica mediante un proceso CMOS estándar que permite un alto nivel de integración para diseñar un circuito dedicado que se recorta para que coincida mejor con las características del elemento de detección.