Controladores/medidores de flujo de masa SFC5500/SFM5500

Los controladores/medidores de flujo de masa SFC5500/SFM5500 de Sensirion son dispositivos digitales multigas basados en Sensores CMOS®que miden el flujo de masa de gas según el principio calorimétrico basado en la transferencia de calor. Los controladores/medidores logran valores incomparables de velocidad, precisión y repetibilidad con un coste de sistema muy atractivo. Un elemento calentador ubicado en una membrana aislada térmicamente y dos termopilas ubicadas en la entrada y en la salida se integran en un único chip de silicio. En presencia de un flujo de gas, se interrumpe la distribución de la temperatura tanto hacia la entrada como hacia la salida. A continuación, se mide esta asimetría. Un diseño de canal más grande hace que el dispositivo sea más robusto frente a partículas, obstrucciones y gases humidificados. Gracias a su diseño compacto en un único chip y al montaje entre piezas metálicas, los sensores basados en CMOSens®también son muy resistentes a las perturbaciones electromagnéticas (EMC).